Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем. Часть 1

Автор:	М. А. Королев
Жанр:
Аннотация: Часть первая: Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование. Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах. Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов. Может быть использовано также специалистами, работающими в данной области.

Случайные комментарии

сергей комментирует книгу «Остров Крым» (Аксенов Василий Павлович):

спасибо большое, почитаем!

meshuggah комментирует книгу «Тлен Укбар» (Борхес Хорхе Луис):

Странно, думал всего Борхеса перечитал, а это произведение впервые встретил :)) Прямо мистика какая то.

Валерия комментирует книгу «Эмоции и воля» (Евгений Иванович Рогов):

Скажите пожал. сколько страниц в этой книге, очень нужно

Орхидея комментирует книгу «Битва за лес» (Хантер Эрин):

скачивать книгу на этом сайте бесплатно? без вирусов?

елена комментирует книгу «История с приведениями» (Страуб Питер):

ещё не читала,но думаю-очень интересная книга

Мститель комментирует книгу «Битва за лес» (Хантер Эрин):

Ты сволоч! Прочитав твой комментарий я узнал что Буран умрет, а я еще не начал читать книгу!

Юрий комментирует книгу «Тайный советник вождя» (Успенский Владимир Дмитриевич):

К сожалению, история часто, или всегда,правится, особенно сразу после исторических событий

nizma комментирует книгу «Прощание с Баклавским» (Грэй Грин):

Очень интересно, кто правообладатель? Может быть , доберемся и до автора?

Олег комментирует книгу «Мастер и Маргарита» (Булгаков Михаил Афанасьевич):

Вот я с вами полностью согласен я очень умный и она мне не очень понравилась !!)

Дмитрий комментирует книгу «Война и мир. Том 4» (Толстой Лев Николаевич):

Спасибо!!!Отличный сайт.

ЭЛЕКТРОННАЯ БИБЛИОТЕКА ModernLib.Net